专利的 S 形轮子:

• 可以最大限度地减少轮子轮杆对底部喷洒药水的阻挡并明显改善 PC 板下部的蚀刻均匀性;
• 采用 S 形轮传输超薄形板和柔性板时可以增加蚀刻速度降15% - 20%;
• 无须导行板, ‘柔轨’ (Flextrack) 可传输 50-微米厚的以玻璃纤维为核心的材料和 25-微米厚的聚酰亚胺材料

‘柔轨’ – Flextrack Conveyor

蚀刻 25-微米厚的聚酰亚胺柔性板

传输 25-微米厚的聚酰亚胺材料

专利的AFD:

AFD (Advanced Fluid Delivery - 高级流体供送器)头可加工处理有高纵横比(32:1)的透孔和 50 微米盲孔的 HDI 线路板

高级液体供送器

化学银镀 50 微米盲孔

50 微米盲孔底部化学镀银